精密洗浄

精密洗浄の定義は厳密には定まっていませんが、一般的には超純水を使用し、クリーンな環境のもとで洗浄や乾燥が行われるものを指します。この洗浄方法では、洗い方よりも結果が重視される傾向が強いです。具体的には、洗浄後に油分やパーティクルの付着量が指定されることがあります。半導体製造装置関連では、認定制度を導入している企業が多く、決められた指定業者で行うことが一般的です。

洗浄度に応じて使い分け

当社では、1MΩの純水栓および18MΩの純水生成器を保有し、洗浄度に応じて使い分けています。また、大小3台の超音波洗浄機も保有しており、仕上げ洗浄として純水による超音波洗浄を実施しています。乾燥工程はクリーンオーブンを使用し、乾燥時のパーティクル付着を防止しています。さらに、指定業者による洗浄も取り扱っておりますので、ご相談ください。

真空配管や真空チャンバーは、電解研磨後に精密洗浄を施すことが一般的です。また、ガス系配管でも高い洗浄度が求められる場合に適用されます。精密洗浄は、ワークに直接触れる部品や、真空チャンバー内部に組み込まれる部品など、油分やコンタミ（異物）の付着が厳禁な製品に対して行われます。洗浄度には等級があり、「A洗浄」「AA洗浄」「S洗浄」などのグレードが指定されます。「A洗浄」は社内で対応し、それ以上の高グレード洗浄（AA洗浄以上）は外部委託で対応しています。