半導体製造装置部品加工・水密溶接・気密溶接|株式会社第五電子工業

HELLO!僕は案内役のダイゴだよ!

第五電子の案内役「ネコのダイゴ」

DAIGO
ELECTRONIC
INDUSTRY

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第五電子が誇る7つの技術

  1. 1付ける
  2. 2掘る
  3. 3削る
  4. 4切る
  5. 5曲げる
  6. 6磨く
  7. 7組む

「高精度・難加工技術展2024」ご来場の御礼

第五電子工業は、永年ステンレスを中心に金属の部品加工を生業とし、
溶接、機械、板金加工の設備を同じ敷地内に有しています。

FEATURES

第五電子が誇る7つの技術

付ける

TSUKERU

金属を付けるには溶接を用います。当社では様々な方法(機械)で溶接を行っています。職人の技と言うべき手によるTIG溶接、TIGのロボット溶接、パイプを溶接する専用のTIGの円周自動溶接、ファイバーレザー溶接は手動とロボットで行えます。付ける材質はステンレス・アルミがメインです。当社はただ付けるだけでなく完全密閉を必要とする気密・水密・真空溶接がほとんどです。匠の技で接合します。密閉度を保証する漏れ検査も必ず行います。

  • スペシャリスト集団1
  • スペシャリスト集団2

気密・水密溶接の
スペシャリスト集団

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気密溶接、水密溶接、真空溶接等、漏れてはならない物の溶接が得意です。レーザー溶接では5㎜の板厚を開先も取らずに裏波溶接(完全溶け込み溶接)が可能です。TIG溶接の場合でも完全裏波溶接をすることによって10年以上漏れない仕様に出来ます。

該当製品一覧

  • タンク
  • クーラー(熱交換器)
  • 水冷ジャケット
  • 真空チャンバー
  • 水冷配管
  • 水冷パイプ
  • 水冷ラジエーター
  • ステンレス配管
  • 二重配管
  • ブローノズル
  • ベルジャー
  • ICFチャンバー
  • 半導体製造装置用部品

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掘る

HORU

金属を掘る場合も切削で行います。削るより掘る方が技術を有します。溝を掘る場合全体の深さの差が数十ミクロン以下に制御して掘る必要があります。当社では真空シールのためのO-リング溝を掘ったり、水路を形成するための溝を掘ったりしています。アリ溝タイプと言って溝の奥の方が膨らんでる形状も加工できる技術をもっています。

  • 独自の技で掘り進めます1
  • 独自の技で掘り進めます2

細く複雑な形の溝も
独自の技で掘り進めます

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真空シール用のアリ溝加工や複雑な水路用の溝を掘ることが出来ます。溶接後の二次加工では、溝を均一に(公差0.05㎜)掘るために個体差がある製品を一品一品計測しながら掘っていきます。

該当製品一覧

  • 水路プレート
  • アダプタフランジ
  • アリ溝チャンバー
  • 真空チャンバー
  • 真空フランジ
  • シールプレート
  • 水冷プレート
  • 半導体製造装置用部品
  • 薬液タンク

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削る

KEZURU

金属を削る事を切削(機械)加工と言います。四角いものを削るにはフライス盤が向いています。フライスの原理で完全に自動で削る機械、マシニングセンターを7台以上保有しています。丸い物を削るのは旋盤を用います。自動で削るNC旋盤も複数台保有しています。当社の独自技術とすれば、溶接後の平らでない製品を1点1点計測しながら削り均等に削っていく事です。熟練が必要になります。

  • ステンレスを削ります1
  • ステンレスを削ります2

独自の技術で
ステンレスを削ります

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当社では、フライス、マシニング、旋盤と多様な設備を有しています。ステンレスを中心にインコネルやハステロイといった難削材も切削可能です。シール面加工、溶接後の精度加工等のノウハウもあります。

該当製品一覧

  • フランジ
  • 真空チャンバー
  • ICFフランジ
  • NWフランジ
  • バッキングプレート
  • 水冷プレート
  • 半導体製造装置用部品

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切る

KIRU

一言に切ると言っても形状や切り方によって様々な方法があります。当社では、薄板を切るならシャーリングやレーザー加工機で行います。パイプの切断は、チューブカッター、ファインカットやワイヤーカット放電加工機で行います。当社では、精密に切るならレーザーやワイヤーカットを使用します。

  • 幅広く切断します1
  • 幅広く切断します2
  • 幅広く切断します3

超薄板から厚板まで
幅広く切断します

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一般の平板はレーザー切断、超薄品(0.1㎜以下)や高精度品(公差0.05㎜以下)ならワイヤーカット放電加工機で切断します。パイプならチューブカッター、ファインカッター、曲線切りはワイヤーカットで加工出来ます。

該当製品一覧

  • 水冷ジャケット
  • ミガキ筐体
  • ミガキパネル
  • 薄物板金
  • 磨き板金
  • ラジエーター(熱交換器)
  • 冷却プレート
  • シャワープレート
  • クーラー(熱交換器)
  • シャーシ
  • 半導体製造装置用部品

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曲げる

MAGERU

平板を曲げるにはNCプレスブレーキを使用します。別名NCベンダーとも言います。パイプを曲げるのはチューブベンダーになります。手動で曲げるものと自動で曲げる機械が当社にはあります。金属を曲げる場合、金属は伸びながら曲がるので伸び率を計算し正確に寸法が出るよう加工します。パイプは特につぶれないように圧力を調整しながら曲げる必要があります。

  • なんでも曲げられます1
  • なんでも曲げられます2
  • なんでも曲げられます3

板もパイプも
なんでも曲げられます

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平板(板金)を曲げるにはNCプレスブレーキを使用します。多品種少量に対応するためにスリーポイントベンダー方式を採用しています。パイプの曲げは、自動ベンダーや手動曲げも対応できるので、複雑形状(3D)の曲げも対応可能です。

該当製品一覧

  • フレキシブルチューブ
  • 水冷パイプ
  • 熱交換器
  • ミガキプレート
  • ラジエーター
  • 半導体製造装置用部品

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磨く

MIGAKU

磨きと言ってもたくさんの要素があります。見栄えをよくするための磨きや性能上必要な磨きといった具合です。当社で必ず行うのは溶接後の磨きです。溶接で黒茶色になった品物をもとの素材のような色に戻す必要があります。焼け取とも言います。その後鏡面仕上げやヘアライン仕上げ等を行う製品もあります。電解焼け取やブラシを使用しての焼け取が一般的に行っています。現在ではレーザーによって磨く機械も導入し幅を広げています。

  • 美品に仕上げます1

匠の技で
美品に仕上げます

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真空シール面の磨きはオイルストーン等使用して手磨きしています。現在、ヘール加工磨きを検討中で今後活躍が期待できます。手磨きに比べて10倍スピードで磨きます。溶接後の仕上げもレーザー磨き機を導入し、手仕上の3倍以上のスピードで仕上げられるようになりました。

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組む

KUMU

半導体製造装置や真空機器装置のユニットを組立てています。大手半導体メーカー等から依頼され、クリーンな環境で組立作業を行っています。多くの組立部品は社内で加工を行っており、加工から一括で依頼できるのでかなりのメリットがあると考えています。ユニット等の設計を行う事もあり、組立品の内容は水冷ユニット、搬送ユニット、真空スニファーユニットや装置フレームユニット等があります。

  • 精密機器を清潔な環境で丁寧に組立てます1
  • 精密機器を清潔な環境で丁寧に組立てます2

精密機器を清潔な
環境で丁寧に組立てます

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冷却ユニットを組立てています。水冷パイプがユニットに完全密着するように丁寧に取付けていきます。丁寧かつ正確な組立作業がお客様より高い信頼を頂いております。クリーンルーム内での組立も可能です。すべての組立品は動作確認や完成品検査を確実に実施しています。

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