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水冷プレート
水路ブロック
水冷部分の溝や穴を形成し、ブロック内部に水を流す方式です。マシニングセンター等で加工します。
業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
素材
アルミ、ステンレス、インコネル、ハステロイ
ロット
1~100個
精度
±0.05~±0.2程度
使用設備
マシニングセンター(縦/横/5軸)
用途
成膜装置などで高温になる部分を冷却したり、融点の低い部材を保護するため、または手が触れる箇所の冷却目的で使用されます。
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