成膜装置は、ある程度温度を上げて(200℃〜1000℃以上)成膜する事が多いので、熱に強い部品が採用されます。

耐食性も必要なので一般的にはステンレス材が多く使用されます。

中には耐熱鋼のインコネルやハステロイタンタル、タングステン等も使用されます。

弊社はステンレスを中心に対応しています。

真空中で成膜するので真空チャンバ、真空ポンプ、真空配管と真空部品が多く使用される特徴があります。

特に弊社得意のCVD装置では、ガスを使用して成膜するため、ガス配管ユニットが多いのも特徴です。

一次供給側のガス配管は超クリーンであることが要求されるため、溶接はクリーンルームの中で行います。

超純水による精密洗浄も要求される場合が多いです。

弊社はどちらも対応可能です。

次に温度対策として様々な冷却ユニットが使用されます。
冷却ユニットの代表的な物が熱交換器(ラジエーター)です。

弊社が最も得意としている分野です。

冷却媒体に一般的に水を使用することから、水冷部品と呼ばれるこもあります。

当社の溶接は真空部品（10％）ガス供給部品（5％）水冷部品（70％）の比率で水冷部品の比率が最多くなっています。

近年は真空部品の比率が上昇してきています。