2016年9月26日(月)に、ヘリウムリークディテクター(島津エミット MSE-2203S)を導入しました。

弊社クリーンルームで使用するため、ドライポンプ仕様となっております。

現在ヘリウムリークディテクターは2台体制ですが、

10月中にもう1台ロータリーポンプ仕様のディテクターを導入します。