水冷フランジ

製品情報

水冷フランジ

複合旋盤などを使用し、Oリング溝や水路溝を高精度に加工します。さらに、マシニング機能を活用して、各種溝や穴などの加工にも対応します。
水路部分は、製品形状や仕様に応じてTIG溶接やレーザー溶接を使い分けて製作します。
また、ガス配管については、自動溶接を用いることで、安定した品質での溶接が可能です。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
素材
ステンレス、インコネル、ハステロイ
ロット
1~100個
精度
±0.05~±0.2程度
使用設備
マシニングセンター(縦/横/5軸)
ファイバーレーザー溶接機
TIG溶接機
リークディテクター
用途
成膜装置などにおいて、高温のガスを供給する側で使用されます。
高温ガスによるフランジ面のOリングなどへの熱影響を抑えるため、冷却水を循環させて冷却します。
ガスの流路と冷却水の流路が複雑に配置された構造を採用しており、高温となる部位を効率的に冷却します。