ガス系供給配管

配管・タンク類

ガス系供給配管

一次側のガス供給のため、配管内部の清浄度や残渣油分の要求が非常に高い品物です。溶接はクリーンルーム内で円周の自動溶接機を使用するのが一般的です。場合により精密洗浄が要求され、配管内部のパーティクル測定も要求されるのが一般的です。

業界
半導体製造装置
各種真空成膜装置
素材
アルミ、ステンレス、インコネル、ハステロイ
ロット
1~100個
精度
±0.2mm程度
使用設備
複合NC旋盤
マシニングセンター
TIG円周自動溶接機
リークディデクター
用途
成膜装置で一次側のガス供給するために使用されます。
特殊なフランジ形状やメタルシールの継手を使用して接続します。